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GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告

Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 36401-2018
  • 名称：
    表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
  • 英文名称：
    Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectroscopy—Reporting of results of thin-film analysis
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-06-07
  • 实施日期：
    2019-05-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《工业硼酸》等393项国家标准和7项国家标准外文版的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准给出了采用XPS对基材上薄膜的分析报告所需的最少信息量要求的说明。这些分析涉及化学组成和均匀薄膜厚度的测量，以及采用变角XPS、XPS溅射深度剖析、峰形分析和可变光子能量XPS的方式对非均匀薄膜作为深度函数的化学组成的测量。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    ISO 18115-1:2010
  • 采用标准：
    ISO 13424:2013 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告 （等同采用 IDT）
相关部门
  • 归口单位：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 主管部门：
    全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
  • 起草单位：
    厦门荷清教育咨询有限公司 清华大学化学系
相关人员
暂无
关联标准