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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：1×1017 cm-3～1×1020 cm-3。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 4326 GB/T 8170 GB/T 14264
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 有色金属技术经济研究院 东莞市中镓半导体科技有限公司 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 苏州纳维科技有限公司 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
相关人员
暂无
关联标准