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GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
冶金（77）
金属材料试验（77.040）
】
-
CCS分类：
【
冶金（H）
金属理化性能试验方法（H20/29）
金属物理性能试验方法（H21）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
归口单位：
2)
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
203/SC
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
-
起草单位：
中国电子技术标准化研究院
有色金属技术经济研究院
东莞市中镓半导体科技有限公司
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
苏州纳维科技有限公司
中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
-
主管部门：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
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