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GB/T 12965-2018 硅单晶切割片和研磨片
Monocrystalline silicon as cut wafers and lapped wafers基本信息
- 标准号:GB/T 12965-2018
- 名称:硅单晶切割片和研磨片
- 英文名称:Monocrystalline silicon as cut wafers and lapped wafers
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2018-09-17
- 实施日期:2019-06-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:本标准规定了硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的牌号及分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于由直拉法、悬浮区熔法(包括中子嬗变掺杂和气相掺杂)制备的直径不大于200 mm的圆形硅单晶切割片和研磨片。产品主要用于制作晶体管、整流器件等,或进一步加工成抛光片。
- 引用标准:暂无
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- 代替标准:GB/T 12965-2005
- 引用标准:GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 1555 GB/T 2828.1-2012 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 6619 GB/T 6620 GB/T 6624 GB/T 11073 GB/T 12962 GB/T 13387 GB/T 13388 GB/T 14140 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 26067 GB/T 29507 GB/T 32279 GB/T 32280 YS/T 26 YS/T 28
相关部门
- 归口单位:2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
- 起草单位:有研半导体材料有限公司 浙江金瑞泓科技股份有限公司 上海合晶硅材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司 浙江省硅材料质量检验中心 天津市环欧半导体材料技术有限公司
- 主管部门:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
相关人员
暂无
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