• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 19921-2018
  • 名称：
    硅抛光片表面颗粒测试方法
  • 英文名称：
    Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-12-28
  • 实施日期：
    2019-07-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属理化性能试验方法（H20/29） 金属物理性能试验方法（H21） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试，对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。针对130 nm～11 nm线宽工艺用硅片，本标准提供了扫描表面检查系统的设置。
    本标准适用于使用扫描表面检查系统对硅抛光片和外延片的表面局部光散射体进行检测、计数及分类，也适用于对硅抛光片和外延片表面的划伤、晶体原生凹坑进行检测、计数及分类，对硅抛光片和外延片表面的桔皮、波纹、雾以及外延片的棱锥、乳突等缺陷进行观测和识别。本标准同样适用于锗抛光片、化合物抛光片等镜面晶片表面局部光散射体的测试。
    注：本标准中将硅、锗、砷化镓材料的抛光片和外延片及其他材料的镜面抛光片、外延片等统称为晶片。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 19921-2005
  • 引用标准：
    GB/T 6624 GB/T 12964 GB/T 12965 GB/T 14139 GB/T 14264 GB/T 25915.1 GB/T 29506 SEMI M35 SEMI M52 SEMI M53 SEMI M58
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 南京国盛电子有限公司 有研半导体材料有限公司 浙江金瑞泓科技股份有限公司 上海合晶硅材料有限公司 天津市环欧半导体材料技术有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 24298-2009 热双金属横向弯曲试验方法
  • GB/T 3656-1983 电工用纯铁磁性能测量方法
  • GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法
  • GB/T 4107-2004 镁粉松装密度的测定 斯科特容量法
  • GB/T 13012-1991 钢材直流磁性能测量方法
  • GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
  • GB/T 4107-1983 镁粉松装密度的测定 斯科特容量法
  • GB/T 25897-2020 剩余电阻比测量 铌-钛（Nb-Ti）和铌三锡（Nb3Sn）复合超导体剩余电阻比测量
  • GB/T 5242-1985 硬质合金制品检验规则与试验方法
  • GB/T 8643-2021 含润滑剂金属粉末中润滑剂含量的测定 索格利特（Soxhlet）萃取法
  • GB/T 5985-2003 热双金属弯曲常数测量方法
  • GB/T 3171.2-1982 铝粉松装密度的测定 容量计法
  • GB/T 3651-1983 金属高温导热系数测量方法
  • GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
  • YS/T 366-1994 贵金属及其合金材料对铜热电势测量方法
  • YS/T 273.11-2006 冰晶石化学分析方法和物理性能测定方法 第11部分：X射线荧光光谱分析法测定硫含量
  • GB/T 37201-2018 镍钴锰酸锂电化学性能测试 首次放电比容量及首次充放电效率测试方法
  • YS/T 581.3-2012 氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第3部分：氟含量的测定
  • GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法
  • DB44/T 2042-2017 广东省刀具锋利度和耐用度试验方法
用户分享资源

GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法

Test method for particles on polished si... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 19921-2018 硅抛光片表面颗粒测试方法
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com