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GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
General specification for epitaxial wafers and substrates based on gallium nitride
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
电气工程(29)
半导体材料(29.045)
】
-
CCS分类:
【
冶金(H)
半金属与半导体材料(H80/84)
化合物半导体材料(H83)
】
-
行标分类:
暂无
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