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GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备

Laser lift-off equipment used for GaN
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 37466-2019
  • 名称：
    氮化镓激光剥离设备
  • 英文名称：
    Laser lift-off equipment used for GaN
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2019-06-04
  • 实施日期：
    2019-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《钢铁及合金 钙和镁含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法》等374项国家标准和3项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    暂无
  • CCS分类：
    【 电子元器件与信息技术（L） 电子工业生产设备（L95/99） 电子工业生产设备综合（L95） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了氮化镓激光剥离设备（以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
    本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓（GaN)基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 191 GB 2893-2008 GB 2894-2008 GB/T 3768-2017 GB/T 4208-2017 GB 4824-2013 GB/T 4942.1-2006 GB/T 5080.7-1986 GB/T 5171.1-2014 GB 5226.1-2008 GB/T 6388 GB 7247.1-2012 GB/T 7251.1-2013 GB/T 9969 GB/T 14436 GB/T 15706-2012 GB/T 18268.1-2010 GB/T 18490.1-2017 GB 50073-2013 GB/T 50087-2013 SJ/T 37-1996
相关部门
  • 起草单位：
    中国电子技术标准化研究院 东莞市中镓半导体科技有限公司
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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