• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法

Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 26068-2018
  • 名称：
    硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射光电导衰减法
  • 英文名称：
    Test method for carrier recombination lifetime in silicon wafers and silicon ingots—Non-contact measurement of photoconductivity decay by microwave reflectance method
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-12-28
  • 实施日期：
    2019-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属理化性能试验方法（H20/29） 金属物理性能试验方法（H21） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了单晶和铸造多晶的硅片及硅锭的载流子复合寿命的非接触微波反射光电导衰减测试方法。本标准适用于硅锭和经过抛光处理的n型或p型硅片(当硅片厚度大于1 mm时，通常称为硅块)载流子复合寿命的测试。在电导率检测系统灵敏度足够的条件下，本标准也可用于测试切割或经过研磨、腐蚀的硅片的载流子复合寿命。通常，被测样品的室温电阻率下限在0.05 Ω·cm~10 Ω·cm之间，由检测系统灵敏度的极限确定。载流子复合寿命的测试范围为大于0.1 μs，可测的最短寿命值取决于光源的关断特性及衰减信号测定器的采样频率，最长可测值取决于样品的几何条件及其表面的钝化程度。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 26068-2010
  • 引用标准：
    GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 1553 GB/T 6616 GB/T 6618 GB/T 11446.1-2013 GB/T 13389 GB/T 14264 YS/T 679 SEMI MF978
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 起草单位：
    中国计量科学研究院 有研半导体材料有限公司 北京合能阳光新能源技术有限公司 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 浙江省硅材料质量检验中心 广州市昆德科技有限公司 瑟米莱伯贸易(上海)有限公司 天津市环欧半导体材料技术有限公司
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • YS/T 581.15-2007 氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第15部分:游离氧化铝含量的测定
  • GB/T 18502-2018 临界电流测量 银和/或银合金包套Bi-2212和Bi-2223氧化物超导体的直流临界电流
  • GB/T 5985-2003 热双金属弯曲常数测量方法
  • GB/T 6147-2005 精密电阻合金热电动势率 测试方法
  • GB/T 24488-2021 镁合金牺牲阳极电化学性能测试方法
  • GB/T 6522-1986 氧化铝粉末松装密度的测定
  • YB/T 5360-2006 金属材料定量极图的测定
  • YS/T 581.14-2006 氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第14部分：松装密度的测定
  • YS/T 1161.1-2016 拟薄水铝石分析方法 第1部分：胶溶指数的测定 EDTA容量法
  • GB/T 8364-2003 热双金属比弯曲试验方法
  • GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
  • YS/T 581.6-2006 氟化铝化学分析方法和物理性能测定方法 第6部分：钼蓝分光光度法测定二氧化硅含量
  • GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
  • YB/T 136-1998 镀锡钢板（带）表面油和铬的试验方法
  • GB/T 4339-1999 金属材料热膨胀特征参数的测定
  • YS/T 617.7-2007 铝、镁及其合金粉理化性能测定方法 第7部分: 粒度分布的测定 激光散射/衍射法
  • GB/T 6523-1986 氧化铝粉末有效密度的测定 比重瓶法
  • GB/T 11111-1989 钨丝电阻连续测量方法
  • GB/T 24272-2009 热双金属平螺旋形元件机械转矩率试验方法
  • GB/T 5225-1985 金属材料定量相分析——X射线衍射K值法
用户分享资源

GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射...

Test method for carrier recombination li... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试 非接触微波反射...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com