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GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法

Test method for silicon brick dimension—Laser technology method
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 37213-2018
  • 名称:
    硅晶锭尺寸的测定 激光法
  • 英文名称:
    Test method for silicon brick dimension—Laser technology method
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2018-12-28
  • 实施日期:
    2019-11-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法,包括对角线、倒角、垂直度、边长和长度。本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 14264 GB/T 25076 GB/T 29054
相关部门
  • 归口单位:
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 主管部门:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
  • 起草单位:
    江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 苏州协鑫光伏科技有限公司 山东大海新能源发展有限公司
相关人员
暂无
关联标准