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GB/T 4059-2018 硅多晶气氛区熔基磷检验方法

Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 4059-2018
  • 名称：
    硅多晶气氛区熔基磷检验方法
  • 英文名称：
    Test method for phosphorus content in polycrystalline silicon by zone-melting method under controlled atmosphere
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2018-12-28
  • 实施日期：
    2019-11-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《农产品基本信息描述 谷物类》等国家标准和国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数)的测定，测定范围为0.01×1013 cm-3～500×1013 cm-3。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 4059-2007
  • 引用标准：
    GB/T 1550 GB/T 1551 GB/T 4060 GB/T 4842 GB/T 8979 GB/T 11446.1-2013 GB/T 14264 GB/T 24574 GB/T 24581 GB/T 25915.1-2010
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 203/SC 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/T
  • 起草单位：
    新特能源股份有限公司 江苏中能硅业科技发展有限公司 亚洲硅业(青海)有限公司 宜昌南玻硅材料有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 新疆协鑫新能源材料科技有限公司 乐山市产品质量监督检验所 内蒙古神舟硅业有限责任公司 山东大海新能源发展有限公司 内蒙古盾安光伏科技有限公司 新疆大全新能源股份有限公司 鄂尔多斯多晶硅业有限公司
相关人员
暂无
关联标准