• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 16596-2019
  • 名称：
    确定晶片坐标系规范
  • 英文名称：
    Specification for establishing a wafer coordinate system
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2019-03-25
  • 实施日期：
    2020-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《石油产品术语》国家标准和国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 半金属与半导体材料综合（H80） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 16596-1996
  • 引用标准：
    GB/T 16595 GB/T 34479 YS/T 986 SEMI E5 SEMI M1
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 有研半导体材料有限公司 上海合晶硅材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司 浙江省硅材料质量检验中心
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 29054-2012 太阳能级铸造多晶硅块
  • GB/T 14863-2013 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法
  • GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
  • GB/T 35305-2017 太阳能电池用砷化镓单晶抛光片
  • YS/T 1167-2016 硅单晶腐蚀片
  • GB/T 20229-2022 磷化镓单晶
  • YS/T 979-2014 高纯三氧化二镓
  • GB/T 29057-2012 用区熔拉晶法和光谱分析法评价多晶硅棒的规程
  • GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
  • GB/T 26069-2010 硅退火片规范
  • GB/T 29055-2019 太阳能电池用多晶硅片
  • GB/T 19199-2003 半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法
  • T/IAWBS 001-2017 碳化硅单晶
  • SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法
  • SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
  • GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
  • GB/T 6621-2009 硅片表面平整度测试方法
  • GB/T 25074-2010 太阳能级多晶硅
  • SJ/T 11494-2015 硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
  • GB/T 14139-2019 硅外延片
用户分享资源

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer c... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com