• 当前位置：
    首页 规范标准 GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer coordinate system
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 16596-2019
  • 名称：
    确定晶片坐标系规范
  • 英文名称：
    Specification for establishing a wafer coordinate system
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2019-03-25
  • 实施日期：
    2020-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《石油产品术语》国家标准和国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类：
    【 电气工程（29） 半导体材料（29.045） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 半金属与半导体材料（H80/84） 半金属与半导体材料综合（H80） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了使用直角坐标和极坐标建立晶片正面坐标系、背面坐标系和三维坐标系的程序。本标准适用于有图形和无图形的晶片坐标系的建立。该坐标系用于确定和记录晶片上的缺陷、颗粒等测试结果的准确位置。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 16596-1996
  • 引用标准：
    GB/T 16595 GB/T 34479 YS/T 986 SEMI E5 SEMI M1
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 有研半导体材料有限公司 上海合晶硅材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司 浙江省硅材料质量检验中心
  • 主管部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 36706-2018 磷化铟多晶
  • GB/T 20230-2006 磷化铟单晶
  • GB/T 30110-2013 空间红外探测器碲镉汞外延材料参数测试方法
  • YS/T 1061-2015 改良西门子法多晶硅用硅芯
  • YS/T 989-2014 锗粒
  • GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
  • SJ/T 11493-2015 硅衬底中氮浓度的二次离子质谱测量方法
  • GB/T 30453-2013 硅材料原生缺陷图谱
  • GB/T 14139-2009 硅外延片
  • YS/T 985-2014 硅抛光回收片
  • GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底
  • GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
  • GB/T 11070-2006 还原锗锭
  • SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入设P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
  • GB/T 13388-2009 硅片参考面结晶学取向X射线测试方法
  • GB/T 26065-2010 硅单晶抛光试验片规范
  • YS/T 982-2014 氢化炉碳/碳复合材料U形发热体
  • SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法
  • YS/T 15-1991 硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法
  • YS 68-2004 砷
用户分享资源

GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范

Specification for establishing a wafer c... 上传文件 注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容，请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 16596-2019 确定晶片坐标系规范
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况，为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要，对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等，而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中，联系客服入驻

客服QQ： 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话：0379-80883238

电子邮箱：ocsyun@126.com