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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

Information model for containing process chamber IC equipment design
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 37959-2019
  • 名称：
    含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
  • 英文名称：
    Information model for containing process chamber IC equipment design
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2019-08-30
  • 实施日期：
    2020-03-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《针叶树锯材》等501项国家标准和6项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。
    本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
  • 提出部门：
    中国机械工业联合会
  • 起草单位：
    清华大学 北京机械工业自动化研究所有限公司 中车信息技术有限公司 中国石油规划总院
  • 归口单位：
    全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159)
相关人员
暂无
关联标准