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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
基本信息
分类信息
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ICS分类:
【
信息技术、办公机械(35)
信息技术应用(35.240)
信息技术在工业中的应用(35.240.50)
】
-
CCS分类:
【
机械(J)
机械综合(J00/09)
电子计算机应用(J07)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
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