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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
Information model for containing process chamber IC equipment design
基本信息
分类信息
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ICS分类：
【
信息技术、办公机械（35）
信息技术应用（35.240）
信息技术在工业中的应用（35.240.50）
】
-
CCS分类：
【
机械（J）
机械综合（J00/09）
电子计算机应用（J07）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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