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GB/T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 38341-2019
  • 名称：
    微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法
  • 英文名称：
    Micro-electromechanical system technology—The reliability test methods of MEMS in integrated environments
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2019-12-31
  • 实施日期：
    2020-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《非自行指示秤》等169项国家标准的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了MEMS器件可靠性综合环境的试验方法和失效结果处理。本标准适用于需要进行可靠性试验的MEMS器件。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 26111
相关部门
  • 起草单位：
    北京大学 华为技术有限公司 中机生产力促进中心 东南大学 中北大学 中国科学院电子学研究所 北京必创科技股份有限公司 无锡华润上华科技有限公司 沈阳国仪检测技术有限公司 浙江博亚精密机械有限公司 佛山市川东磁电股份有限公司
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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