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GB/T 14139-2019 硅外延片

Silicon epitaxial wafers
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了硅外延片的牌号和分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同)内容。
    本标准适用于在直径不大于150 mm的N型和P型硅抛光片衬底上生长的硅外延片。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 14139-2009
  • 引用标准：
    GB/T 1550 GB/T 1555 GB/T 2828.1-2012 GB/T 6617 GB/T 6624 GB/T 12964 GB/T 13389 GB/T 14141 GB/T 14142 GB/T 14146 GB/T 14264 GB/T 14844 GB/T 14847 GB/T 19921 GB/T 24578 YS/T 28 SEMI M85
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 南京国盛电子有限公司 有研半导体材料有限公司 浙江金瑞泓科技股份有限公司 上海合晶硅材料有限公司
  • 主管部门：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员
相关人员
暂无
关联标准