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GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
基本信息
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标准号:
GB/T 38447-2020
-
名称:
微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
-
英文名称:
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
-
状态:
现行
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类型:
国家标准
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性质:
推荐性
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发布日期:
2020-03-06
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实施日期:
2020-07-01
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废止日期:
暂无
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相关公告:
实施公告【关于批准发布《内六角圆柱头螺钉细牙螺纹》等173项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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分类信息
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ICS分类:
【
电子学(31)
集成电路、微电子学(31.200)
】
-
CCS分类:
【
电子元器件与信息技术(L)
微电路(L55/59)
微电路综合(L55)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
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