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GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 38447-2020
  • 名称:
    微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
  • 英文名称:
    Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2020-03-06
  • 实施日期:
    2020-07-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
分类信息
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 2298 GB/T 10623 GB/T 26111
相关部门
  • 起草单位:
    北京大学 中机生产力促进中心 中北大学 北京必创科技股份有限公司 北京智芯传感科技有限公司 沈阳国仪检测技术有限公司 浙江博亚精密机械有限公司
  • 发布部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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