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GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration基本信息
- 标准号:GB/T 38447-2020
- 名称:微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
- 英文名称:Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2020-03-06
- 实施日期:2020-07-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:本标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
- 引用标准:暂无
相关标准
- 引用标准:GB/T 2298 GB/T 10623 GB/T 26111
相关部门
- 起草单位:北京大学 中机生产力促进中心 中北大学 北京必创科技股份有限公司 北京智芯传感科技有限公司 沈阳国仪检测技术有限公司 浙江博亚精密机械有限公司
- 发布部门:国家标准化管理委员会
- 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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