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GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 38446-2020
  • 名称：
    微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
  • 英文名称：
    Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2020-03-06
  • 实施日期：
    2020-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《内六角圆柱头螺钉细牙螺纹》等173项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 26111
相关部门
  • 起草单位：
    北京大学 中机生产力促进中心 中北大学 北京必创科技股份有限公司 北京智芯传感科技有限公司 无锡华润上华科技有限公司
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位：
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
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