收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 38446-2020
  • 名称:
    微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
  • 英文名称:
    Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2020-03-06
  • 实施日期:
    2020-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《内六角圆柱头螺钉细牙螺纹》等173项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类:
    电子学(31) 集成电路、微电子学(31.200)
  • CCS分类:
    电子元器件与信息技术(L) 微电路(L55/59) 微电路综合(L55)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 26111
相关部门
  • 起草单位:
    北京大学 中机生产力促进中心 中北大学 北京必创科技股份有限公司 北京智芯传感科技有限公司 无锡华润上华科技有限公司
  • 发布部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则
  • GB/T 8976-1996 膜集成电路和混合膜集成电路总规范
  • GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
  • GB/T 17574.20-2006 半导体器件 集成电路 第2-20部分:数字集成电路 低压集成电路族规范
  • SJ 50597/62-2006 半导体集成电路JF1558、JF1558A型通用双运算放大器详细规范
  • SJ/T 10741-2000 半导体集成电路 CMOS电路测试方法的基本原理
  • DB44/T 1903-2016 广东省线路板特性阻抗测试方法 时域反射法
  • SJ/Z 11353-2006 集成电路IP核转让规范
  • GB/T 9178-1988 集成电路术语
  • GB/T 15877-1995 蚀刻型双列封装引线框架规范
  • GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
  • GB/T 9425-1988 半导体集成电路运算放大器空白详细规范 (可供认证用)
  • SJ/Z 11358-2006 集成电路IP核模型分类法
  • GB/T 11498-1989 膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用鉴定批准程序) (可供认证用)
  • GB/T 13064-1991 半导体集成电路系列和品种 复印机用系列的品种
  • GB/T 14115-1993 半导体集成电路采样/保持放大器测试方法的基本原理
  • GB/T 38762.2-2020 产品几何技术规范(GPS) 尺寸公差 第2部分:除线性、角度尺寸外的尺寸
  • SJ 20954-2006 集成电路锁定试验
  • GB/T 4855-1984 半导体集成电路线性放大器系列和品种
  • GB/T 16465-1996 膜集成电路和混合膜集成电路分规范(采用能力批准程序)
用户分享资源

GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试...

Micro-electromechanical system technolog...
上传文件
注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容,请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况,为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要,对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等,而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中,联系客服入驻

客服QQ: 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话:0379-80883238

电子邮箱:ocsyun@126.com