收藏到云盘
纠错反馈

GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 38446-2020
  • 名称:
    微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法
  • 英文名称:
    Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2020-03-06
  • 实施日期:
    2020-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《内六角圆柱头螺钉细牙螺纹》等173项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
    • 阅读或下载 使用APP、PC客户端等功能更强大
    • 网页在线阅读 体验阅读、搜索等基本功能
    • 用户分享资源 来自网友们上传分享的文件
    • 纸书购买 平台官方及网友推荐
分类信息
  • ICS分类:
    电子学(31) 集成电路、微电子学(31.200)
  • CCS分类:
    电子元器件与信息技术(L) 微电路(L55/59) 微电路综合(L55)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50 nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品,也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 26111
相关部门
  • 起草单位:
    北京大学 中机生产力促进中心 中北大学 北京必创科技股份有限公司 北京智芯传感科技有限公司 无锡华润上华科技有限公司
  • 发布部门:
    国家标准化管理委员会
  • 归口单位:
    全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
相关人员
暂无
关联标准
  • GB/T 14119-1993 半导体集成电路双极熔丝式可编程只读存储器空白详细规范(可供认证用)
  • GB/T 6798-1996 半导体集成电路 电压比较器测试方法的基本原理
  • GB/T 14112-1993 半导体集成电路 塑料双列封装冲制型引线框架规范
  • GB/T 36479-2018 集成电路 焊柱阵列试验方法
  • GB/T 15877-1995 蚀刻型双列封装引线框架规范
  • GB/T 15861-1995 离子束蚀刻机通用技术条件
  • SJ/Z 11352-2006 集成电路IP核测试数据交换格式和准则规范
  • GB/T 14030-1992 半导体集成电路时基电路测试方法的基本原理
  • GB/T 3430-1989 半导体集成电路型号命名方法
  • GB/T 11497.1-1989 半导体集成电路CMOS电路系列和品种 54/74 HC 系列的品种
  • GB/T 14114-1993 半导体集成电路电压/频率和频率/电压转换器测试方法的基本原理
  • GB/T 35010.1-2018 半导体芯片产品 第1部分:采购和使用要求
  • GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则
  • GB/T 35002-2018 微波电路 频率源测试方法
  • GB/T 14027.4-1992 半导体集成电路通信电路系列和品种 双音多频电路系列品种
  • GB/T 38762.2-2020 产品几何技术规范(GPS) 尺寸公差 第2部分:除线性、角度尺寸外的尺寸
  • SJ/T 11704-2018 微电子封装的数字信号传输特性测试方法
  • GB/T 4377-2018 半导体集成电路 电压调整器测试方法
  • SJ/Z 11353-2006 集成电路IP核转让规范
  • GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
用户分享资源

GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试...

Micro-electromechanical system technolog...
上传文件
注:本列表内文件主要来源于网友们的分享上传。如您发现有不正确不合适的内容,请及时联系客服
纠错反馈
GB/T 38446-2020 微机电系统(MEMS)技术 带状薄膜抗拉性能的试...
提交反馈
分类列表
确定
上传文件
完全匿名 前台匿名 显示用户名 点击选择文件
{{uploadFile.name}} {{uploadFile.sizeStr}}
目前支持上传小于100MB的PDF、OCF、OCS格式文件
注:您上传文件即代表同意平台可以公开给所有用户下载。平台会根据您的选择及实际情况,为您发放相应的直接或分成奖励。平台也可以根据实际情况需要,对您上传到服务器的文件进行调整隐藏删除等,而无需通知到您。
联系客服

纸书购买链接招商中,联系客服入驻

客服QQ: 2449276725 1455033258

1098903864 1969329120

客服电话:0379-80883238

电子邮箱:ocsyun@126.com