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GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
基本信息
-
标准号：
GB/T 38614-2020
-
名称：
基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法
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英文名称：
Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator
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状态：
现行
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类型：
国家标准
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性质：
推荐性
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发布日期：
2020-04-28
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实施日期：
2020-11-01
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废止日期：
暂无
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相关公告：
实施公告【关于批准发布《产品几何技术规范（GPS）线性尺寸公差ISO代号体系 第1部分：公差、偏差和配合的基础》等197项国家标准和1项国家标准修改单的公告】
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分类信息
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ICS分类：
【
综合、术语学、标准化、文献（01）
词汇（01.040）
精密机械、珠宝（词汇）（01.040.39）
】
-
CCS分类：
【
仪器、仪表（N）
工业自动化仪表与控制装置（N10/19）
工业自动化与控制装置综合（N10）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
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