收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
Silicon tetrachloride for electronic industry
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位:
西南化工研究设计院有限公司
上海市计量测试技术研究院
湖北省标准化与质量研究院
大连大特气体有限公司
广东华特气体股份有限公司
洛阳中硅高科技有限公司
上海华爱色谱分析技术有限公司
湖北晶星科技股份有限公司
唐山三孚电子材料有限公司
湖北光谷标准创新科技有限公司
浙江西亚特电子材料有限公司
联雄投资(上海)有限公司
随州市信息与标准化所
达州市质量技术监督检验测试中心
-
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
-
发布部门:
国家标准化管理委员会
相关人员
关联标准
-
GB/T 16943-2009
电子工业用气体 氦
-
GB/T 21287-2007
电子工业用气体 三氟化氮
-
GB/T 34972-2017
电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
-
JB/T 9082-1999
水电解制氢设备 术语
-
GB/T 31987-2015
电子工业用气体 锗烷
-
GB 18450-2001
民用黑火药
-
DB34/T 1544-2011
安徽省C4混合液
-
GB/T 3864-2008
工业氮
-
GB/T 14602-1993
电子工业用气体 氯化氢
-
GB/T 26249-2010
电子工业用气体 硒化氢
-
QB/T 4955-2016
家用卫生杀虫用品 杀虫气雾剂推进剂 丙丁烷
-
HG/T 3633-1999
纯甲烷
-
GB/T 14601-1993
电子工业用气体 高纯氨
-
GB/T 5829-2006
氪气
-
GB/T 36656-2018
电子级三乙基镓
-
GB/T 3863-2008
工业氧
-
JB/T 2549-2018
铝制空气分离设备制造技术规范
-
GB/T 5831-2011
气体中微量氧的测定 比色法
-
GB/T 5275.9-2014
气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第9部分:饱和法
-
GB/T 14600-1993
电子工业用气体 氧化亚氮