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GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅

Silicon tetrachloride for electronic industry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 38867-2020
  • 名称：
    电子工业用四氯化硅
  • 英文名称：
    Silicon tetrachloride for electronic industry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2020-07-21
  • 实施日期：
    2021-02-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《印刷、书写和绘图用原纸尺寸》等199项推荐性国家标准和3项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 化工技术（71） 化工产品（71.100） 工业气体（71.100.20） 】
  • CCS分类：
    【 化工（G） 其他化工产品（G85/89） 工业气体与化学气体（G86） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。
    本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
  • 引用标准：
    暂无
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相关部门
  • 起草单位：
    西南化工研究设计院有限公司 上海市计量测试技术研究院 湖北省标准化与质量研究院 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 湖北晶星科技股份有限公司 唐山三孚电子材料有限公司 湖北光谷标准创新科技有限公司 浙江西亚特电子材料有限公司 联雄投资(上海)有限公司 随州市信息与标准化所 达州市质量技术监督检验测试中心
  • 归口单位：
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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