收藏到云盘
纠错反馈
GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅
Silicon tetrachloride for electronic industry
基本信息
分类信息
-
ICS分类:
【
化工技术(71)
化工产品(71.100)
工业气体(71.100.20)
】
-
CCS分类:
【
化工(G)
其他化工产品(G85/89)
工业气体与化学气体(G86)
】
-
行标分类:
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
-
起草单位:
西南化工研究设计院有限公司
上海市计量测试技术研究院
湖北省标准化与质量研究院
大连大特气体有限公司
广东华特气体股份有限公司
洛阳中硅高科技有限公司
上海华爱色谱分析技术有限公司
湖北晶星科技股份有限公司
唐山三孚电子材料有限公司
湖北光谷标准创新科技有限公司
浙江西亚特电子材料有限公司
联雄投资(上海)有限公司
随州市信息与标准化所
达州市质量技术监督检验测试中心
-
归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
-
发布部门:
国家标准化管理委员会
相关人员
关联标准
-
HG/T 3789-2005
稳定性同位素 氖气
-
JB/T 8942-1999
氩提取设备
-
GB 18450-2001
民用黑火药
-
JB/T 6898-2015
低温液体贮运设备 使用安全规则
-
GB/T 35315-2017
LED行业用氨气处理指南
-
DB13/T 2299-2015
河北省煤催化气化制合成天然气工艺技术规程
-
GB/T 18994-2003
电子工业用气体 高纯氯
-
GB/T 34525-2017
气瓶搬运、装卸、储存和使用安全规定
-
GB/T 3863-1995
工业用氧
-
GB 8982-2009
医用及航空呼吸用氧
-
GB/T 14601-1993
电子工业用气体 高纯氨
-
GB/T 14605-1993
氧气中微量氩、氮和氪的测定 气相色谱法
-
GB/T 31058-2014
电子工业用气体 四氟化硅
-
GB/T 34710.1-2017
混合气体的分类 第1部分:毒性分类
-
GB/T 5275.1-2014
气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第1部分:校准方法
-
JB/T 9077-1999
粉末普通绝热贮槽
-
HG/T 4984-2016
焊接用混合气体 二氧化碳-氧/氩
-
GB/T 6285-2016
气体中微量氧的测定 电化学法
-
JB/T 6895-2006
铝制空气分离设备安装焊接 技术规范
-
GB/T 5832.2-2016
气体分析 微量水分的测定 第2部分:露点法