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GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷
Dichlorosilane for electronic industry
基本信息
分类信息
-
ICS分类：
【
化工技术（71）
化工产品（71.100）
工业气体（71.100.20）
】
-
CCS分类：
【
化工（G）
其他化工产品（G85/89）
工业气体与化学气体（G86）
】
-
行标分类：
暂无
描述信息
相关标准
相关部门
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起草单位：
西南化工研究设计院有限公司
上海市计量测试技术研究院
湖北省标准化与质量研究院
大连大特气体有限公司
广东华特气体股份有限公司
洛阳中硅高科技有限公司
上海华爱色谱分析技术有限公司
湖北晶星科技股份有限公司
唐山三孚电子材料有限公司
湖北光谷标准创新科技有限公司
浙江西亚特电子材料有限公司
联雄投资(上海)有限公司
随州市信息与标准化所
达州市质量技术监督检验测试中心
-
归口单位：
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC
203)
-
发布部门：
国家标准化管理委员会
相关人员
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