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GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷

Dichlorosilane for electronic industry
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 38866-2020
  • 名称:
    电子工业用二氯硅烷
  • 英文名称:
    Dichlorosilane for electronic industry
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2020-07-21
  • 实施日期:
    2021-02-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《印刷、书写和绘图用原纸尺寸》等199项推荐性国家标准和3项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    化工技术(71) 化工产品(71.100) 工业气体(71.100.20)
  • CCS分类:
    化工(G) 其他化工产品(G85/89) 工业气体与化学气体(G86)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。
  • 引用标准:
    暂无
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相关部门
  • 起草单位:
    西南化工研究设计院有限公司 上海市计量测试技术研究院 湖北省标准化与质量研究院 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 湖北晶星科技股份有限公司 唐山三孚电子材料有限公司 湖北光谷标准创新科技有限公司 浙江西亚特电子材料有限公司 联雄投资(上海)有限公司 随州市信息与标准化所 达州市质量技术监督检验测试中心
  • 归口单位:
    全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
  • 发布部门:
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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