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GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷
Dichlorosilane for electronic industry基本信息
- 标准号:GB/T 38866-2020
- 名称:电子工业用二氯硅烷
- 英文名称:Dichlorosilane for electronic industry
- 状态:现行
- 类型:国家标准
- 性质:推荐性
- 发布日期:2020-07-21
- 实施日期:2021-02-01
- 废止日期:暂无
- 相关公告:
分类信息
- ICS分类:【 】
- CCS分类:【 】
- 行标分类:暂无
描述信息
- 前言:暂无
- 适用范围:本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。
- 引用标准:暂无
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相关部门
- 起草单位:西南化工研究设计院有限公司 上海市计量测试技术研究院 湖北省标准化与质量研究院 大连大特气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 洛阳中硅高科技有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 湖北晶星科技股份有限公司 唐山三孚电子材料有限公司 湖北光谷标准创新科技有限公司 浙江西亚特电子材料有限公司 联雄投资(上海)有限公司 随州市信息与标准化所 达州市质量技术监督检验测试中心
- 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
- 发布部门:国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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