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YS/T 1392-2020 氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法

基本信息
  • 标准号：
    YS/T 1392-2020
  • 名称：
    氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
  • 英文名称：
    暂无
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    暂无
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2020-12-09
  • 实施日期：
    2021-04-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【2021年第3号(总第251号)】
分类信息
  • ICS分类：
    暂无
  • CCS分类：
    暂无
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。
    本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
暂无
相关部门
暂无
相关人员
暂无
关联标准
暂无数据