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GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法

Test method for dislocation density of monocrystal germanium
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。
    本标准适用于{111}、{100}和{113}面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0 cm-2~100 000 cm-2。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 代替标准：
    GB/T 5252-2006
  • 引用标准：
    GB/T 8756 GB/T 14264
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    广东先导稀材股份有限公司 国合通用测试评价认证股份公司 中国电子科技集团公司第四十六研究所 有研光电新材料有限责任公司 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 北京国晶辉红外光学科技有限公司 中锗科技有限公司 义乌力迈新材料有限公司
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准