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GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）

Micro nano standard samples（geometric）
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了微纳米标准样板（几何量）的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。
    本标准适用于线间隔为0.05 μm~10 μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01 μm~100 μm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2 nm~1 000 nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25 nm~1 000 nm的纳米线宽标准样板。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 17163-2008 GB/T 25915.1-2010
相关部门
  • 起草单位：
    中国计量科学研究院 上海市计量测试技术研究院 中国计量大学 成都工具研究所有限公司 中国电子科技集团公司第十三研究所 广西壮族自治区计量检测研究院 珠海市怡信测量科技有限公司
  • 提出部门：
    中国机械工业联合会
  • 归口单位：
    全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC 132)
相关人员
暂无
关联标准