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GB/T 38976-2020 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。
    本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5×1015 cm-3（0.05 ppma)～2.5×1018 cm-3（50 ppma)。
    注： 硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 1557 GB/T 14264
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 北京聚睿众邦科技有限公司 有研半导体材料有限公司 上海合晶硅材料有限公司 厦门银固美能源科技有限公司
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
关联标准