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GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
    本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014 cm-3。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 32267
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 中国电子科技集团公司第四十六研究所 北京聚睿众邦科技有限公司 东莞市中镓半导体科技有限公司 厦门市科力电子有限公司
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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