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GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法

Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 39144-2020
  • 名称：
    氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法
  • 英文名称：
    Test method for magnesium content in gallium nitride materials—Secondary ion mass spectrometry
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2020-10-11
  • 实施日期：
    2021-09-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《标准轨距铁路限界第1部分：机车车辆限界》等106项国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 金属材料试验（77.040） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 金属化学分析方法（H10/19） 半金属及半导体材料分析方法（H17） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了氮化镓材料中镁含量的二次离子质谱测试方法。
    本标准适用于氮化镓材料中镁含量的定量分析，测定范围为不小于5×1014 cm-3。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 14264 GB/T 22461 GB/T 32267
相关部门
  • 归口单位：
    2) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203) 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 中国电子科技集团公司第四十六研究所 北京聚睿众邦科技有限公司 东莞市中镓半导体科技有限公司 厦门市科力电子有限公司
  • 发布部门：
    国家标准化管理委员会
相关人员
暂无
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