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GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
    本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
    注： 靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 228.1-2010 GB/T 228.2 GB/T 8170 GB/T 10623 GB/T 16825.1
相关部门
  • 起草单位：
    有色金属技术经济研究院 贵研铂业股份有限公司 有研亿金新材料有限公司 宁波江丰电子材料股份有限公司 山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司
  • 归口单位：
    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
  • 提出部门：
    中国有色金属工业协会
相关人员
暂无
关联标准