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GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材

High purity copper alloy target for integrated circuit
基本信息
  • 标准号：
    GB/T 39159-2020
  • 名称：
    集成电路用高纯铜合金靶材
  • 英文名称：
    High purity copper alloy target for integrated circuit
  • 状态：
    现行
  • 类型：
    国家标准
  • 性质：
    推荐性
  • 发布日期：
    2020-11-19
  • 实施日期：
    2021-10-01
  • 废止日期：
    暂无
  • 相关公告：
    实施公告【关于批准发布《标准化工作导则 第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》等586项推荐性国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类：
    【 冶金（77） 有色金属产品（77.150） 铜产品（77.150.30） 】
  • CCS分类：
    【 冶金（H） 有色金属及其合金产品（H60/69） 重金属及其合金（H62） 】
  • 行标分类：
    暂无
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
    本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuAl）合金靶材和高纯铜锰（CuMn）合金靶材。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 8170 GB/T 8651 GB/T 14265 GB/T 36165 YS/T 347 YS/T 482 YS/T 837 YS/T 922
相关部门
  • 归口单位：
    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
  • 提出部门：
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位：
    有研亿金新材料有限公司 宁波江丰电子材料股份有限公司 宁波微泰真空技术有限公司
相关人员
暂无
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