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GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材

High purity copper alloy target for integrated circuit
基本信息
  • 标准号:
    GB/T 39159-2020
  • 名称:
    集成电路用高纯铜合金靶材
  • 英文名称:
    High purity copper alloy target for integrated circuit
  • 状态:
    现行
  • 类型:
    国家标准
  • 性质:
    推荐性
  • 发布日期:
    2020-11-19
  • 实施日期:
    2021-10-01
  • 废止日期:
    暂无
  • 相关公告:
    实施公告【关于批准发布《标准化工作导则 第2部分:以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》等586项推荐性国家标准和2项国家标准修改单的公告】
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分类信息
  • ICS分类:
    冶金(77) 有色金属产品(77.150) 铜产品(77.150.30)
  • CCS分类:
    冶金(H) 有色金属及其合金产品(H60/69) 重金属及其合金(H62)
  • 行标分类:
    暂无
描述信息
  • 前言:
    暂无
  • 适用范围:
    本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材(以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
    本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝(CuAl)合金靶材和高纯铜锰(CuMn)合金靶材。
  • 引用标准:
    暂无
相关标准
  • 引用标准:
    GB/T 8170 GB/T 8651 GB/T 14265 GB/T 36165 YS/T 347 YS/T 482 YS/T 837 YS/T 922
相关部门
  • 归口单位:
    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
  • 提出部门:
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位:
    有研亿金新材料有限公司 宁波江丰电子材料股份有限公司 宁波微泰真空技术有限公司
相关人员
暂无
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