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GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材

High purity copper alloy target for integrated circuit
基本信息
分类信息
描述信息
  • 前言：
    暂无
  • 适用范围：
    本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材）的分类、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。
    本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuAl）合金靶材和高纯铜锰（CuMn）合金靶材。
  • 引用标准：
    暂无
相关标准
  • 引用标准：
    GB/T 8170 GB/T 8651 GB/T 14265 GB/T 36165 YS/T 347 YS/T 482 YS/T 837 YS/T 922
相关部门
  • 归口单位：
    全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
  • 提出部门：
    中国有色金属工业协会
  • 起草单位：
    有研亿金新材料有限公司 宁波江丰电子材料股份有限公司 宁波微泰真空技术有限公司
相关人员
暂无
关联标准